除了圆形蓝宝石晶片,各种尺寸的方形和矩形晶片也可供选择。如:5mm×5mm、10mm×10mm、10mm×15mm、15mm×20mm等。所有晶片可选择单面抛光或者双面抛光,晶片表面具体优良的平整度和洁净度,因此在GaN外延生长方面具有很好的性能。
到目前为止,C面(0001)是常用的蓝宝石晶向,由于技术成熟,蓝宝石晶体沿C轴生长,成本较低,物理、化学性能稳定。晶芯光电还可以提供其他特殊晶向,如:A面(11-20)、M面(10-10)、R面(1-102)、N面(11-23)、V面(22-43)等。
Item | 10mm x 10mm R-plane 500μm sapphire wafer | |
Crystal Materials | 99,999%, High Purity, Monocrystalline Al2O3 | |
Grade | Prime, Epi-polished | |
Surface Orientation | R-plane(1-102) | |
Size | 10 mm +/- 0.05 mm x 10 mm +/- 0.05 mm | |
Thickness | 500 μm +/- 25 μm | |
Front Surface | Epi-polished, Ra < 0.5 nm (by AFM) | Epi-polished, Ra < 0.5 nm (by AFM) |
Back Surface | Fine ground, Ra = 0.8 μm to 1.2 μm | Epi-polished, Ra < 0.5 nm (by AFM) |
TTV | < 5 μm | |
BOW | < 5 μm | |
WARP | < 5 μm | |
Cleaning / Packaging | Class 100 cleanroom cleaning and vacuum packaging, single piece packaging. |
注:可提供任意晶向、厚度、表面状态的定制化蓝宝石晶片。