蓝宝石晶片是半导体照明工业中应用最广泛的衬底材料,而使用蓝宝石衬底图案化(PSS)是提高半导体照明器件发光效率的常用方法。图案化蓝宝石衬底(PSS)具有各种形状的周期性结构,如:圆锥体、圆顶、金字塔和柱体等。
图形尺寸、宽高比、晶片间的均匀性以及晶片间的一致性是提高光提取率的重要因素。目前,我们可提供2英寸和4英寸图案化蓝宝石衬底(PSS),规格如下:
直径:2.4+/-0.2μm,间距:0.6+/-0.2μm,深度:1.5+/-0.15μm;
直径:2.7+/-0.1μm,间距:0.3+/-0.1μm,深度:1.7+/-0.15μm。